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2025-01-23 -
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CONEX-AG-GON 系列為壓電電機驅動的測角架，與閉環壓電電機控制器/驅動器相集成。它使用帶有內置編碼器的壓電電機，能夠實現高位置可重復性。 高度可重復的角運動 高靈敏度 (MIM) 尺寸緊湊 價格合理，快速交付 集成且易于設置
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674產品描述
針對翻轉和傾斜應用，BG 系列測角儀支持開放式施加負載。當兩個 BG 平移臺堆疊在一起時，樣品將圍繞公共樞轉點旋轉。 ±45° 橫軸旋轉，能夠盡可能自由接近旋轉平臺 堆疊托架，可實現圍繞同一樞軸點的正交旋轉 精密機加工的滾珠軸承座圈，可確保平穩運動和高度穩定性 精密磨光蝸桿傳動裝置可提供 0.002° MIM 真空兼容版本，最高可達 10-6 hPa
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2105產品描述
對于傾斜和傾斜應用，BG系列測角儀允許打開負載。當兩個BG工作臺堆疊在一起時，樣品圍繞一個共同的樞軸點旋轉。這些步進電機測角儀適用于需要更高輸出扭矩的應用。也可提供高達10-6hPa的真空兼容版本。
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864產品描述
RGA 薄型高速旋轉臺非常適合需要低質量和大孔徑的工業應用，但需要快速和精確地旋轉晶圓卡盤等樣品架。 快速旋轉、薄型、大光圈 高重復性 低擺動和低偏心率 高扭矩和高加速度 全鋼結構，具有高剛度和熱穩定性 即插即用 ESP 兼容性
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609產品描述
RGV 可用于半導體晶片檢測、微型機器人、精密計量和運動模擬器等應用，特別適用于 MEMS、陀螺儀和加速度計測試。 直接驅動可以實現高達 1000 deg/s 的優異速度，而且可靠性高。 大直徑、鋼制滾珠軸承，剛度高、擺動低以及載重能力高。 精密玻璃標度編碼器可以實現高位置重復性、MIM 和高精度。 高扭矩直流無刷電機，最大扭矩為 112 Nm。